本儀器采用非接觸式傳感器，線性好，精度高。
可評價粗糙度、波紋度、輪廓度等數百項參數。
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解決方案

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大行程粗糙度測量解決方案

儀器概述
 

本儀器具備CNC測量功能同批次工件可進行批量測量。
本儀器采用非接觸式傳感器，線性好，精度高。
可評價粗糙度、波紋度、輪廓度等數百項參數。
軟件可顯示R曲線、W曲線、P曲線。

 
測量范圍

X方向測量：350mm
X方向分辨率：0.1μm
傳感器量程：200μm
傳感器分辨率：0.008μm
Z方向立柱移動范圍：100mm
Y方向移動范圍：350mm

 
技術參數

 

項目 參數
技術參數 線性精度 ≤±(5nm+2.8%)
殘值噪聲 ≤0.005μm
重復性 ±5%
截止波長 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
評定長度 λcX2、3、4、5、6、7
運動控制 X軸驅動方式 電動
Z軸驅動方式 電動
Y軸驅動方式 電動
X軸驅動速度 0.05~15mm/s
Z軸驅動速度 0.2-15mm/s
Y軸驅動速度 0.05~15mm/s
 


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