導軌直線度：≤0.05μm/10mm(λ=0.25mm)
采數間隔：0.05μm
傳感器線性精度：0.1μm+0.2% f.s
傳感器量程/分辨率比：1：262144
輔助電子攝像單元：30萬像素
載物臺X、Y向定位精度：0.02mm
傳感器Z向移動定位精度：0.02mm
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采用氣浮隔振機臺隔離環境振動對測量的影響。
測力控制單元采用音圈電機實時控制以保證輕測量力。
測量時用罩殼隔離空氣流動對測量的影響。
采用電子攝像單元輔助測量調整及測量過程控制。
配置多維電動載物臺對零件測量部位進行測量。



薄膜臺階形貌、粗糙度、波紋度。